Forureningsrisici for patronvarmer og krav til renlighed

Forureningsrisici for patronvarmer og krav til renlighed
Defekter, der reducerer udbyttet, kan skyldes partikel- eller molekyleforurening fra varmeelementer, der aflejres på waferoverflader. Derfor er hver komponent, der føjes til proceskammeret, underlagt strenge restriktioner i henhold til regler for rent-rum. Fordi høje temperaturer øger mobiliteten af ​​overfladepartikler og frigivelsen af ​​flygtige stoffer, undersøges varmeelementer nøje. Forurening påvirker systemets termiske dynamik samt produktkvalitet.
Disse farer skal reduceres i en patronvarmer designet til halvlederservice. Sammenlignet med standard industrielle kvaliteter, frigiver høj-ren magnesiumoxidisolering, som er blevet fuldstændig tørret og forseglet i et kontrolleret miljø, langt mindre resterende fugt og bindemiddelrester. Sandsynligheden for, at metal- eller oxidflager bliver luftbårne under vakuum, formindskes yderligere af kappelegeringer, der er valgt på grund af deres stærke overfladestabilitet og lave partikelproduktion.
Faktisk ændres første-ordens dynamik af selve overfladeforurening. Tidskonstanten τ forlænges, og den effektive forstærkning K formindskes, når et tyndt lag afsættes, fordi det øger den termiske modstand mellem kappen og pladen. Større overskydning eller langsommere genopretning er resultaterne af controllere, der er indstillet på et rent system. Vedligeholdelse af en ren kappeoverflade bevarer modellens korrekthed, og de identificerede parametre er konsistente.
Forureningspotentiale påvirkes af effekttæthed. Til metal-blokapplikationer begrænser densiteter holdt mellem 5 og 7 W/cm² den maksimale kappetemperatur, hvilket sænker drivkraften til afgasning og frigivelse af partikler. Øgede tætheder hæver overfladetemperaturen, fremskynder desorptionen af ​​resterende kemikalier og øger muligheden for isoleringsfejl, som kan producere flere partikler.
Håndterings- og installationsprocedurer er lige så vigtige. Når kammeret når procestemperaturen, omfatter forureningskilderne fingeraftryk, rester af bearbejdningsvæsker og emballageaffald, der er tilbage på hylsteret. Disse forurenende stoffer elimineres, og overfladeemissiviteten stabiliseres ved opløsningsmiddelrensning og en kontrolleret støvsugning-inden patronvarmeren tages i brug.
Renlighedskrav skal også opfyldes af bly og termineringsmaterialer. Organiske kemikalier, der kondenserer på kammerets køligere overflader, kan frigives ved almindelig polymerisolering. Ud over at eliminere denne kilde, stopper hermetiske forseglinger og blyisolering, der er egnet til rene rum, varmeledning til-tilførselsområdet, hvilket ellers ville resultere i sekundære termiske forsinkelser.
En enkelt materialespecifikation kan ikke sikre rengøringsydelsen, fordi basistryk, proceskemi og maksimal temperatur er forskellige mellem værktøjer. En patronvarmer, hvis bidrag til forurening er minimalt, og hvis første-termiske reaktion forbliver forudsigelig, er produceret ved en teknisk evaluering, der tilpasser isoleringsrenhed, kappelegering, tætningsdesign og effekttæthed til det særlige vakuum og kemiske miljø.